利用高週波加热及电阻加热,
来进行各种各样的结晶的开发﹑製造的装置.

●SiC单晶 → 单晶体.
       磊晶硅晶圆等
●氮化物单晶 → 氮化铝
           (AIN)等
●氧化物单晶 → 铌酸锂
         (LiNbO3)等

产品 : 结晶相关装置

布里奇曼长晶设备(Bridgman)

顶部晶粒溶液长晶 TSSG设备(Top Seeded Solution Growth)

浮融带长晶 FZ设备(Floating Zone)

液相磊晶法 LPE设备(Liquid,Phase,Epitaxial)

GaP・InP高压合成设备

气氛控制式高温热处理炉

高温退火设备

碳化硅-CVD设备

碳化硅(SiC)•氮化铝(AlN)单晶生长装置

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